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科普 - 等离子体科学技术 - 列表
3.3.3 阳极鞘层
3.3.4 等离子体鞘
3.4.1 高频等离子体的发生方法
3.4.2 高频等离子体反应装置的等效电路
3.4.3 电场频率对气体放电机制的影响
3.4.4 高频放电的效率
3.4.5 利用高频放电的原因
3.4.6 阻抗匹配网络
3.4.7 高频电极的自偏压
3.4.8 电位分布和高频鞘
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