3.4.8 电位分布和高频鞘

所属栏目：等离子体科学技术

3.4.8 电位分布和高频鞘

高频放电的电位分布随反应装置的结构而异,不能一概而论。但无论如何,等离子体区总是呈最高电位,即等离子体电位Vp。器壁或置于等离子体中的绝缘性物质表面总是成浮置电位Vf。一般说来Vp约比Vf高10V左右。下面根据不同的反应装 ......（本文共 2341 字 , 12 张图）     [阅读本文] >>


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