3.4.5 利用高频放电的原因

从上述的讨论中已经可以看到高频放电的优点。如无电极放电获得纯净的等离子体,增强电离提高放电效率等等。除此以外,还有一种情况,即当电极上覆盖绝缘性物质时,就必须采用高频放电不可了。电极上有绝缘层的情况在等离子体 ......（本文共 1090 字 , 3 张图） [阅读本文] >>

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