3.4.1 高频等离子体的发生方法

图3-10是高频等离子体发生装置的方框图。图3-10高频等离子体发生装置的方框图其中高频振荡器必须能承受负载阻抗的大幅度变化。从振荡器发出的信号先经过脉冲放大器放大,再经过功率放大后输出。阻抗匹配网络是为了使负载阻 ......（本文共 806 字 , 3 张图） [阅读本文] >>

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