3.4.2 高频等离子体反应装置的等效电路

所属栏目：等离子体科学技术

平行板型等离子体反应装置的等效电路如图3-13所示。图3-13平行板型等离子体反应装置的等效电路 ......（本文共 48 字 , 1 张图）     [阅读本文] >>

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