3.3.3 阳极鞘层

所属栏目：等离子体科学技术

3.3.3 阳极鞘层

(1)阳极鞘层的结构阳极鞘层除鞘电压的大小外,本质上与浮置基板前的等离子体鞘相同。为满足Bohm判据,进入鞘层的离子必须要有(kTe)/e的能量,因此也有一个准中性的过渡区。阳极鞘层的厚度很薄,通常比阴极鞘层约小一个数量级。但 ......（本文共 1676 字 , 1 张图）     [阅读本文] >>


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