3.4.4 高频放电的效率

所属栏目：等离子体科学技术

3.4.4 高频放电的效率

高频放电在增强电离和维持放电等方面比直流辉光放电有效得多,这已被许多实验事实所证明。首先,随着频率的增加,能够产生自持放电的最低允许气压明显下降。当频率为13.56MHz时气压低于1.33×10-1Pa还可维持放电。另外,放电气压相 ......（本文共 1626 字 , 4 张图）     [阅读本文] >>


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