3.4.7 高频电极的自偏压

高频电极的自偏压是一个重要的问题。但是并不是所有的射频放电装置都会产生自偏压。如果射频放电回路中没有隔直电容器,则不会产生自偏压如图3-19(a)所示。如果射频放电回路中有隔直电容器,则会产生自偏压如图3-19(b)所示。图 ......（本文共 1714 字 , 4 张图） [阅读本文] >>

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