3.3.4 等离子体鞘

辉光放电中的阴极鞘层和阳极鞘层是等离子体与电极接触而产生的。实际上当等离子体与容器壁接触或在等离子体中插入任何一个绝缘体的表面也都会产生鞘层。等离子体化学中的许多现象和工艺技术都与电极或基片表面附近鞘层 ......（本文共 3347 字 , 13 张图） [阅读本文] >>

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