所属栏目：光学薄膜
薄膜的内应力主要来源于薄膜本身微结构的变化,这种变化包含以下几层含义:①薄膜与相应的薄膜材料具有相同的晶系,但是受沉积参数及其他因素的影响,薄膜的晶格常数或晶胞结构发生了变化;②相对于体材料,薄膜具有多孔、低维 ......（本文共 1290 字 , 1 张图） [阅读本文] >>
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