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【日期】：2024-07-25 【关键词】：硫化锌;离子束抛光;去除函数;工艺优化;极差分析 【摘要】：多光谱硫化锌因其在近、中、远红外等多个光谱波段具有较高的光学透率，广泛应用于红外光学制导导引头、光电探测雷达、机载光电吊舱。为了获得超高面形精度的多光谱硫化锌光学元件，并提高离子束抛光效率，采用正交实验方法对硫化锌进行离子束单点刻蚀实验，获取各工艺参数下的去除函数特征量及体积去除率。通过对正交实验数据进行直观法分析和极差法分析，以体积去除率最大为目标进行工艺参数优化，获得的优化...
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