所属栏目：电力工业
【日期】：2023-12-20 【关键词】：永磁同步直线电机;阶跃响应;线性自抗扰控制;降阶观测器 【摘要】：针对永磁同步直线电机(PMSLM)在各种高精密的半导体封装装备中，应用环境复杂多变，存在各种扰动直接影响其运动性能的问题，提出降阶自抗扰控制方法。为了实现该系统高速高精密运动控制，先通过阶跃响应实验获取了系统的开环传递函数，并针对使用常规观测器容易导致系统相位滞后的问题，在传统线性自抗扰(LADRC)基础上，设计了基于降阶线性扩张状态观测器(RLESO)的降阶线性自抗扰控制器(...
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