一种用于旋转调制技术的微型超声电机定子.pdf

所属栏目:电力工业

【日期】:2023-08-30
【关键词】:旋转调制技术;微型超声电机定子;薄膜型锆钛酸铅;驻波模态;有限元仿真
【摘要】:微型超声电机是实现旋转调制技术在微小型惯导上应用的关键部件,薄膜型MEMS超声电机是微型旋转调制技术的理想载体,然而现有MEMS超声电机存在着纵向稳定性和转速稳定性较差、晃动干扰大的问题,难以满足旋转调制需求。为解决该瓶颈问题,提出了一种基于MEMS制造工艺的工作在B15模态下的行波微型超声电机定子结构,设计悬空式圆环形定子结构,对定子薄膜型锆钛酸铅(PZT)层进行分区激励来获...


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