超高真空的场发射式电镜

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现在一般提到的STEM,主要是指Crewe等采用的场发射电子枪式的扫描透射电镜。在SEM中限制分辨本领的是信噪比,因此电子束的强度不能太弱(SEM中的束流比TEM中的束流大好几倍)。一般的发叉型钨丝提供的极限亮度只能使分辨率达到2nm左 ......(本文共 287 字 )     [阅读本文] >>


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