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膜厚是测量点缺陷和位错密度时,必不可少的数据。测量膜厚的方法很多[9],这里主要介绍几种常用的方法:1.根据等厚消光条纹数进行计算利用等厚消光条纹数目n和消光距离ξg,借助下述公式可以近似计算出条纹所在处的试样厚度t:( ......（本文共 1094 字 , 2 张图） [阅读本文] >>
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