3.2.1 MEMS传感器

所属栏目：柔性测斜装置深部位移监测工程

3.2.1 MEMS传感器

MEMS(MicroelectroMechanicalSystems)即微机电系统(图3-1),是以微电子技术和微机械加工技术为基础的多学科交叉前沿技术。目前,国内外厂家已经研发出了数百种MEMS传感器,除了常用的加速度传感器外,还包括诸如压力传感器、光电学传感器、 ......（本文共 212 字 , 1 张图）     [阅读本文] >>


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