1.5.4 工业等离子体的磁约束

工业用直流和射频辉光放电都因使用磁场而得到改善。①磁约束可提高功率利用率并提高直流或射频辉光放电的数密度。②在等离子体或离子源中,要求尽可能多的电离气流,磁场还能提高质量利用率。③与壁平行的磁场能减少带电粒 ......（本文共 2611 字 , 12 张图） [阅读本文] >>

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