所属栏目：先进材料化学
在这一章里我们讨论了薄膜CVD的不同方面,对化学气相沉积工艺的关键特征和分子前驱体的化学和物理要求作了详细说明。化学气相沉积按顺序被分成多步来进行描述,为了在工艺开发方面取得重要进步,必须控制和理解其中每一步。 ......（本文共 566 字 ） [阅读本文] >>
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