所属栏目：先进材料化学
本章的目的是介绍化学气相沉积的基本方面和技术意义。这一章并不是为了提供本领域全面的综述而是着重于内在的原理。这将为读者提供材料化学气相沉积(CVD)方面关键性问题的正确评价,如这个领域是如何发展到现在的状况的、 ......（本文共 3728 字 , 7 张图） [阅读本文] >>
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