4.4 溶液显影的光刻胶化学

4.4.1　负性光刻胶化学负性胶是光照区域的光刻胶溶解度下降,传统光诱发化学过程包括聚合物链间的交联,图像反转,在光刻胶基质中使用催化剂来促进交联反应。双组分交联光刻胶　在半导体工业的早期(1957～1970年)电路的最小特征 ......（本文共 7237 字 , 9 张图） [阅读本文] >>

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