4.2 光刻技术材料

在微电子器件制造领域,特别是用来制造高分辨率集成电路元件的光刻技术,不断取得重大进步[1]。不久之前,最先进的电路器件也仅有几千个晶体管元件,其最小尺寸为5～6μm。现在,具有几百万个晶体管单元的电路器件已经可以商业化 ......（本文共 832 字 , 2 张图） [阅读本文] >>

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