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ESC是ElectroStaticChuck的缩写,中文意思是静电吸附卡盘。这个装置设置在真空腔室中,使用静电吸附玻璃基板。而所谓静电吸附,是当一个带有静电的物体靠近另一个不带静电的物体时,由于静电感应,没有静电的物体内部靠近带静电物体的 ......（本文共 289 字 ） [阅读本文] >>
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