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超精密加工有极高的精度要求,要达到这样高的精度要求,就必须有精密的加工设备、合适的加工工艺和良好的加工环境。超精密加工设备,应有极高的几何精度。其平行度、垂直度、同轴度等应在0.1μm级以内。主轴的径向跳动、轴向 ......(本文共 422 字 ) [阅读本文] >>