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利用高频电磁波使工作气体电离击穿而产生的等离子体。应用于产生微波等离子体的频率一般是0.915吉赫和2.45吉赫，其中2.45吉赫微波使用更为普遍。 ......（本文共 1201 字 ） [阅读本文] >>
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